六氟化硫SF6气体抽真空装置系统进行。对于使用中、小型开启式、半封闭式压缩机的小型制冷系统在没有真空泵的情况下，也可利用系统本身的压缩机抽气，设备制造厂家提供的产品使用说明书中禁止使用本机抽气的除外。
　　一、用真空泵系统抽真空的操作方法
　　1)关闭系统与外界相通的阀门(如充注阀、放空气阀等)，打开系统内部所有连通的阀门。
　　2)旋下排气阀的旁通孔螺塞，打开旁通孔道，并将真空泵接上。
　　3)启动真空泵进行抽气，系统中的空气很难抽尽，为了达到一定的真空度，抽真空要分数次进行，其间隔l0min左右，以使系统内的压力均衡。氨系统抽真空的剩余压力应小于7.999kPa(60mmHg);氟利昂系统的剩余压力应小于1.333kPa(10mmHg)。
　　4)真空度达标后，先关闭旁通孔道，再停真空泵，并拆下抽气管，旋上排气阀旁通孔螺塞
　　5)抽真空后应保持24h，系统内升压不超过666.61Pa(5mmHg)为合格。若压力上升较快，则应及时查明原因并加以消除。
　　二、用本身的压缩机抽真空的操作方法
　　1)关闭SF6气体抽真空充气装置吸气阀、排气阀，旋下排气阀的旁通孔螺塞，装上排气管，打开旁通孔道，以便排放空气。
　　2)关闭系统中通大气的阀门(如充注阀、放空气阀等)，打开系统中其他所有阀门。
　　3)系统的冷凝器若为水冷冷凝器，则应放尽冷凝器中的冷却水，否则会因冷却水温度较低而使系统内的水分不易蒸发，难以被抽尽。
　　4)将油压控制器和低压控制器的接点强迫常通，启动压缩机，待油压正常后慢慢打开吸气阀，将能量调节装置放在最小一挡。由于制冷压缩机的排空阀通径较小，故开始时吸气阀不能开得很大，能量调节装置也不能放在高挡，随着系统内压力降低，可逐渐开大吸气阀并逐步加载，增加吸气量。在抽气过程中，制冷压缩机的油压不得低于50kPa。
　　5)抽真空应采用间断抽空法，在压缩机连续抽气至听不到气流声时，将排气管浸入冷冻机油杯中，观察管口冒泡情况。若5min内无气泡冒出，可认为系统内气体已基本抽完。若排气管口长时间有气泡冒出，则说明压缩机本身或系统有泄漏，应检查排除。
　　检查时，先关闭SF6气体抽真空充气装置压缩机的吸气阀，检查压缩机本身是否泄漏。若压缩机不漏，则盛油容器里就不出现气泡，同时也说明是系统里有毛病;若压缩机有漏，气泡就会连续产生，这往往是轴封不密合所造成的。如果气泡开始时较大，然后逐渐变小，气泡出现的间隔时间也越来越长，这说明轴封从不密合到逐渐密合。若发现管端(插入面不深的情况下)出现冷冻机油反复吸进吐出的现象，将管端插到油内深处就看不到此现象，这种情况一般是由阀片不密合所致，经重负荷使用后会有一定好转。在抽好真空后，应先关闭排空孔道，然后再停机，以防止停机后因阀片的不密合而出现空气倒流现象。